主泵抽速: 真空容积  L 需求真空值  Torr 需求时间  S

计算结果  L/S

真空漏率: 真空容积  L 需求压强  mmHg, 实抽压强  mmHg

压强从实抽到需求经过时间  S 计算结果  Pa.L/S

前级泵抽速: 主泵最大排气量  L/S 主泵排气口最大压强  Torr 默认流导系数1.2

计算结果  L/S

维持泵抽速:前级泵抽速  L/S 默认主泵系数1 计算结果  L/S

真空单位换算: 标准大气压(atm)   帕(Pa)  

托(Torr) 毫米汞柱(mmHg)  

毫巴(mbar)   毫米水柱(mmH2O)